文献

J-GLOBAL ID：201702276760060087   整理番号：17A0662620

新規なデジタルチューナブルRF-MEMSディスク共振器

A novel digitally tunable RF-MEMS disk resonator

著者 (16件)： LUO Wei (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LUO Wei (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  ZHAO Hui (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  ZHAO Hui (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  YUAN Quan (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  YUAN Quan (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  PENG Bohua (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  PENG Bohua (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  ZHAO Jicong (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  ZHAO Jicong (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  CHEN Yu (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  CHEN Yu (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  YANG Jinling (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  YANG Jinling (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  YANG Fuhua (Inst. Semiconductors, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  YANG Fuhua (State Key Lab. Transducer Technol., Shanghai, CHN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 5  ページ： 1269-1273  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近のディジタルシステムでは,リアルタイムクロック(RTC)として従来の石英を置き換えるための集積回路(IC)互換要素が必要である。小型,低コスト,およびIC互換の製造技術により,共振周波数および品質係数(Q)が高いマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)共振器が有用である。一般に,より高い周波数は,共振器の寸法を縮小することによって達成されるものの,サイズの縮小に因り,顕著な表面効果および不完全なシステム設計によって引き起こされるアンカー損失の増加をもたらす。高い共振周波数を維持しながら高いQを達成する方法は,ハイエンド共振器デバイスを探索するための重要な関心事である。本論文では,簡単なチューニング方式を用いたディジタルチューナブルMEMSディスク共振器を提案した。電極の接続構成を変更することにより,異なる周波数を達成することを可能にした。この同調可能な共振器デバイスは,デジタルシステムにおいて潜在的な応用を有し,システムの電力消費を明らかに低減することを可能にした。これらは,ディスク共振器によるデジタル周波数同調を実証するための予備的な結果であった。今後の研究では,フィードスルーを抑制し,デバイスの性能を向上させることに重点を置く予定である。

シソーラス用語： *回路部品 ,  MEMS ,  *共振器 ,  ディジタル系 ,  信号発生器 ,  共振周波数 ,  係数 ,  効果
準シソーラス用語： *MEMS共振器 ,  RF MEMS ,  *チューナブル回路デバイス ,  ディジタルシステム ,  *ディスク共振器 ,  リアルタイムクロック ,  機械的品質係数 ,  表面効果

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： RF ,  MEMS ,  ディスク ,  共振器