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J-GLOBAL ID：201702276946320588   整理番号：17A1358073

膜片持梁アレイ構造を持つMEMSフローセンサ【Powered by NICT】

A MEMS-based flow sensor with membrane cantilever beam array structure

著者 (5件)： Tian Bian (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China) ,  Li Huafeng (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China) ,  Yang Ning (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China) ,  Liu Hanyue (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China) ,  Zhao Yulong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： NEMS  ページ： 185-189  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,流量センサ,長方形膜片持梁アレイ構造,台形膜片持梁アレイ構造,逆台形膜片持梁アレイ構造と三角形膜片持梁アレイ構造の四つの異なる構造を解析した。計算とシミュレーションの結果,逆台形膜片持梁アレイ構造をこれらの四つの構造の中で最良であることを示した。設計したフローセンサと有効な最適化設計の測定範囲も本論文で議論した。結果は設計したフローセンサの理想的な測定範囲は0.3m/sから3.5m/sであることを明らかにした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 最適設計 ,  *片持梁 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *フローセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 片持梁 ,  アレイ ,  MEMS ,  フローセンサ