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J-GLOBAL ID：201702276993303080   整理番号：17A1383182

洗浄すず液滴汚染光学のためのスズペストの誘導【Powered by NICT】

Induction of tin pest for cleaning tin-drop contaminated optics

著者 (2件)： Bowering Norbert (BokoTech, Ringstrasse 21, 33619, Bielefeld, Germany) ,  Bowering Norbert (Molecular and Surface Physics, Bielefeld University, 33501, Bielefeld, Germany)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 198  ページ： 236-242  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 錫ペースト,スズの同素β→α相変態は,スズ汚染した光学系の洗浄での利用に対して調べた。材料構造の変化の誘導は小片と粉末へのすず試料の崩壊をもたらした。遷移時間は異なる純度グレードのすず液滴を調べ,α-Snシード粒子を用いた接種を用いて,事前の機械的変形と表面酸化物除去後もした。非常に高純度レベルのすずに対して日内時間と完全変態以内の速い核形成が 24°Cでの冷却中に達成され,材料の強い脆化をもたらすことができた。極端紫外線リソグラフィー機械で使用される多層被覆光学系の試料上に滴下すずは接種と冷却後の相転移により洗浄した。多層被覆鏡の反射率は,この洗浄法を用いた1%以上まで減少しないことが分かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ペースト ,  反射率 ,  α相 ,  純度 ,  *スズ ,  極端紫外線 ,  核形成 ,  光学系 ,  *液滴 ,  リソグラフィー ,  粉体 ,  相転移
準シソーラス用語： 多層コーティング ,  極端紫外線リソグラフィー ,  表面酸化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 相転移 ,  構造変化 ,  多層コーティング ,  光学洗浄 ,  極端紫外リソグラフィー

分類 (4件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  塩  (CD01050V) ,  界面化学一般  (CB12010J) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 洗浄 ,  すず ,  液滴 ,  汚染 ,  光学 ,  誘導