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J-GLOBAL ID:201702277413851388   整理番号:17A1273426

SiC MOSFETのためのチャネル設計の比較研究:蓄積モードチャネル対反転モードチャネル【Powered by NICT】

A comparative study of channel designs for SiC MOSFETs: Accumulation mode channel vs. inversion mode channel
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: ISPSD  ページ: 375-378  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,蓄積モードと反転モード1.2kV SiC MOSFETの電気特性の詳細な比較,高温(200°Cまで)での性能を提供する。6インチSiCウエハ上に50以上の金型から測定した統計的データは,この比較のために用いた。蓄積モードSiC MOSFETは,より高いチャネル移動度(~ 22 cm~2/V s)による反転モードMOSFETよりも低い比オン抵抗を提供する合理的なしきい値電圧(~ 2.3 V)を得ることができると結論した。統計的データ分析に基づいて,閾値電圧と電界効果チャネル移動度の間の強い相関を同定した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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