文献

J-GLOBAL ID：201702277593841675   整理番号：17A0776286

イリジウム被覆型プローブの開発

著者 (7件)： 宮園浩一 (株式会社ミウラ) ,  頼田俊孝 (株式会社ミウラ) ,  山内将行 (広島工業大学工学部電子情報工学科) ,  升井義博 (広島工業大学工学部電子情報工学科) ,  豊田宏 (広島工業大学工学部電子情報工学科) ,  小池正記 (広島工業大学工学部電子情報工学科) ,  田中武 (広島工業大学工学部電子情報工学科)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 60  号： 3  ページ： 92-95(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大規模集積回路(LSI)の開発・製造に当り,パッケージ前に正しく動作するかどうかを検査する。Al(アルミニウム)で形成されたボンディングパットに複数の探針プローブ(従来,一般にW(タングステン)細線)が接触して行われる。しかし,ボンディングパットとの接触を繰り返すとW細線上にAlの付着が生じ,酸化アルミニウム(Al₂O₃)が形成されてプローブの接触抵抗が増大してしまうことが問題となっていた。本研究では,簡単な構成により,プローブの先端にAlの付着が生じ難く,接触抵抗が小さく,長時間使用できるIr被覆型プローブの設計・開発を行った。開発されたプローブをAl電極に対して繰り返し使用試験を行い,8万回以上の繰り返しにおいても接触抵抗の増加は0.5Ω以下と良好な結果を得た。

シソーラス用語： LSI【IC】 ,  *試験 ,  *プローブ ,  *イリジウム ,  *被覆 ,  電極 ,  *繰返し試験 ,  接触抵抗
準シソーラス用語： *LSI試験 ,  アルミニウム電極

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (4件)：

• 1) The Small and Medium Enterprise Agency, http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/portal/seika/2008/20-40-18-6.pdf (published March2010, Last accessed:2016-07-25)
• 2) S. Shimada, A. Kimura, K. Yamaguchi, M. Shibata, M. Kaji, H. Imai, T. Haga, Y. Hirata, H. Takada and T. Sakai: SEI TECHNICAL REVIEW, No.162 (2003) 43.
• 3) K. Kataoka, K. Inoue, T. Itoh and T. Suga: Proc. IEEE Holm Conf. Electr. Contacts, 53 (2007) 151.
• 4) T. Fujinami: Mater. Sci. Tech. Jpn., 52 (2015) 117.

タイトルに関連する用語 (3件)： イリジウム ,  プローブ ,  開発