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J-GLOBAL ID：201702278000338795   整理番号：17A1276748

数値的および実験的研究による衝撃環境におけるMEMSの信頼性研究【Powered by NICT】

MEMS reliability study in shock environments through numerical and experimental investigations

著者 (8件)： Lehee Guillaume (Safran Tech, SAFRAN, Rue des Jeunes Bois, 78772 Magny-Les-Hameaux, France) ,  Calvar-Mimica Ariane (Safran Tech, SAFRAN, Rue des Jeunes Bois, 78772 Magny-Les-Hameaux, France) ,  Chantrait Teddy (Safran Tech, SAFRAN, Rue des Jeunes Bois, 78772 Magny-Les-Hameaux, France) ,  Charles Alexandre (Safran Tech, SAFRAN, Rue des Jeunes Bois, 78772 Magny-Les-Hameaux, France) ,  Jeanroy Alain (Safran Electronics & Defense, 21 Avenue du Gros Che^ne, 95610 Eragny, France) ,  Onfroy Philippe (Safran Electronics & Defense, 21 Avenue du Gros Che^ne, 95610 Eragny, France) ,  Colin Mikael (CEA, leti, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France) ,  Berthelot Audrey (CEA, leti, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 520-523  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 衝撃環境におけるMEMS(マイクロ電気機械システム)の設計と検証段階における機械的停止の信頼性を評価し,改善するための新しい方法を報告した。最初に,面内停止接触挙動は定常状態と動的の両方の機械的FEM(有限要素モデル)でモデル化した物理学パッケージを検証し,円筒に平面ヘルツ接触型に適用した接触力の関数として非線形剛性と応力分布を抽出することである。を含むMEMS停止挙動の過渡応答は印加した半正弦衝撃パラメータの関数としての接触力を計算することを可能にする集中衝撃要素法でモデル化した。最後に,実験生存率を評価するために以前にモデル化した停止を埋込んだ多数の素子において行ったいくつかの衝撃試験。Weibull理論と組み合わせた数値結果への適合実験データをしきい値応力,平均応力及びワイブル係数に対して0.7GPa,1.1GPaおよび4でそれぞれシリコンWeibullパラメータを推定することを可能にする良好なコンプライアンスを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *信頼性 ,  生存率 ,  モデリング ,  コンプライアンス ,  剛性 ,  衝撃試験 ,  円筒 ,  *衝撃 ,  応力分布 ,  平均応力 ,  *MEMS ,  過渡応答
準シソーラス用語： Weibull係数 ,  接触力 ,  Hertz接触 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 数値 ,  実験的研究 ,  衝撃 ,  環境 ,  MEMS ,  研究