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J-GLOBAL ID:201702278389238276   整理番号:17A0640871

シリコンナノ構造の高温炭化により作った炭化ケイ素ナノワイヤの構造と光学的性質

Structural and Optical Properties of Silicon-Carbide Nanowires Produced by the High-Temperature Carbonization of Silicon Nanostructures
著者 (5件):
資料名:
巻: 51  号:ページ: 402-406  発行年: 2017年03月 
JST資料番号: T0093A  ISSN: 1063-7826  CODEN: SMICES  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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直径40~50nmのSiCナノワイヤをシードとしての多孔質シリコンとシリコンナノワイヤの高温炭化で作った。SiCナノワイヤを走査顕微鏡,X線回折,Raman分光と赤外反射分光で調べた。その結晶構造は立方晶系で3C型であった。800~000°Cの残留放射線バンド域での赤外反射スペクトル形状は自由電荷キャリアの存在を示していた。SiCナノワイヤをマイクロエレクトロニクス,フォトニクスやガス検知に使用する可能性を議論する。
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  無機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル 
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