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J-GLOBAL ID：201702278708250674   整理番号：17A1046177

X線蛍光分光計による多層膜厚さの測定

Measurement of Multilayer Film Thickness Using X-Ray Fluorescence Spectrometer

著者 (4件)： ZHANG Lei (China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN) ,  LI Man (China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN) ,  LI Haijian (China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN) ,  SONG Xin (China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 726  ページ： 85-89  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エネルギー分散X線蛍光分光計による多層膜厚さの測定について調べた。供試材は銅基板材料に外層の純金(Au)の厚さを0.52~1.98μm,内層の純ニッケル(Ni)の厚さを1.20~7.40μmにして9種類の2層膜を作製し,CTCFPソフトウエアを用いて試験した。その結果,実際の厚さにほぼ一致する値が得られ,平均絶対偏差は,外層Au厚さ:0.039μm,内層Ni厚さ:0.091μm,平均相対偏差は外層Au厚さ:3.41%,内層Ni厚さ:2.303%であり,良好な精度の測定結果であることが判明した。

シソーラス用語： *エネルギー分散蛍光X線分析 ,  *多層膜 ,  *膜厚 ,  *基板 ,  *金 ,  *ニッケル ,  パラメータ ,  基礎 ,  方式 ,  検量線 ,  測定精度 ,  統計量 ,  精度
準シソーラス用語： *銅基板 ,  二層膜 ,  基本パラメータ法 ,  キャリブレーション曲線 ,  偏差

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： X線 ,  蛍光 ,  分光計 ,  多層膜 ,  厚さ