文献

J-GLOBAL ID：201702278781752397   整理番号：17A0953278

三元系Si_1-x-ySn_xC_y合金層の固相結晶および結晶性と光学的性質の特性評価

Solid-phase crystallization of Si_1-x-ySn_xC_y ternary alloy layers and characterization of their crystalline and optical properties

著者 (10件)： YANO Shota (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMAHA Takashi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMAHA Takashi (Japan Soc. for the Promotion of Sci., Tokyo, JPN) ,  SHIMURA Yosuke (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SHIMURA Yosuke (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  TAKEUCHI Wakana (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SAKASHITA Mitsuo (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KUROSAWA Masashi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  NAKATSUKA Osamu (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ZAIMA Shigeaki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 1S  ページ： 01AB02.1-01AB02.7  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁体表面上の三元系Si_1-x-ySn_xC_y合金層の固相結晶を検討した。無線周波数マグネトロンスパッタリング法および固相結晶化のための温度400~800°Cのアニールを使用して,Sn濃度0~20%・C濃度0~10%のアモルファスSi_1-x-ySn_xC_y層を水晶基板上に蒸着した。Si_1-x-ySn_xC_y層の結晶性および結晶構造に対するSn・C導入の影響を検討した。Si_1-yC_y二元合金層は800°Cでも結晶化が困難であるのに対して,Snを導入することで,Si_1-x-ySn_xC_y層の結晶化温度は400°Cへと効果的に低下できることが分かった。さらに,X線光電子分光測定の結果,Sn導入によって,三元系合金の置換サイトへのC原子導入が効果的に促進されることが明らかになった。多結晶Si_1-x-ySn_xC_y層中の置換C濃度の評価値は7.2%であった。この値は,Si母材中Cの熱平衡固溶度を超えている。さらに,Si_1-x-ySn_xC_y三元系合金の吸収スペクトルを検討した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *ケイ素合金 ,  スズ含有合金 ,  *ドーピング ,  RFスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *結晶度 ,  結晶構造 ,  *固相成長 ,  *光吸収スペクトル
準シソーラス用語： *合金薄膜 ,  *炭素ドーピング ,  スパッタリング蒸着 ,  結晶性

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (37件)：

• M. Yamaguchi, K. Nishimura, T. Sasaki, H. Suzuki, K. Arafune, N. Kojia, Y. Oshita, A. Yamamoto, T. Takamoto, and K. Araki, Sol. Energy 82, 173 (2008).
• F. Dimroth and S. Kurtz, MRS Bull. 32, 230 (2007).
• W. Shockley and H. Queisser, J. Appl. Phys. 32, 510 (1961).
• M. Losurdo, M. Giangregorio, P. Capezzuto, G. Bruno, and F. Giorgis, J. Appl. Phys. 97, 103504 (2005).
• R. W. Olesinski and G. J. Abbaschian, Bull. Alloy Phase Diagrams 5, 486 (1984).

タイトルに関連する用語 (6件)： 合金層 ,  固相 ,  結晶 ,  結晶性 ,  光学的性質 ,  特性評価