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J-GLOBAL ID:201702280303147665   整理番号:17A1696306

金属インターカレートした2層グラフェンの電気特性と高圧印加による効果

Fabrication and Electric Properties of Bilayer Graphene with Intercalation of Metal Layer
著者 (7件):
資料名:
巻: 117  号: 224(CPM2017 59-66)  ページ: 5-10  発行年: 2017年09月27日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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Cu箔上にCVD法を用いて単層グラフェンを作製した。Cu箔は,Fe(NO)3溶液によってエッチングした。単層グラフェンは,SiO2/Si基板上に転写し,単層グラフェン(下層部)//SiO2/Siを作製した。単層グラフェン(上層部)をFe(NO)3または,CaCl2溶液に浸漬させ,単層グラフェン(下層部)//SiO2/Siで掬い上げ転写し単層グラフェン(上層部)/金属原子/単層グラフェン(下層部)//SiO2/Siを作製した。すべての試料で2層グラフェンのG/2D比0.4より高い値となっていた。Fe(NO)3溶液の濃度を0.06mol/Lで作製した試料の室温でのシート抵抗は,500kΩ/sq.となり,抵抗温度依存性は,半導体的性質を示した。Fe(NO)3溶液の濃度を0.12mol/Lで作製した試料の室温でのシート抵抗は,1300Ω/sq.となり,抵抗温度依存性は,合金的性質を示した。CaCl2溶液の濃度を0.12mol/Lで作製した試料の室温でのシート抵抗は,6430Ω/sq.となり,抵抗温度依存性は,合金的性質を示した。(著者抄録)
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分類 (1件):
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半導体薄膜 
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