Chkhalo N.I. について
Institute for Physics of Microstructures RAS, GSP-105, 603910 Nizhny Novgorod, Russia について
Mikhailenko M.S. について
Institute for Physics of Microstructures RAS, GSP-105, 603910 Nizhny Novgorod, Russia について
Mil’kov A.V. について
“Compozit”, Pionerskaya Str. 4, 141070, Moscow Region, Korolev, Russia について
Pestov A.E. について
Institute for Physics of Microstructures RAS, GSP-105, 603910 Nizhny Novgorod, Russia について
Polkovnikov V.N. について
Institute for Physics of Microstructures RAS, GSP-105, 603910 Nizhny Novgorod, Russia について
Polkovnikov V.N. について
N.I. Lobachevsky Nizhegorodsky State University, Gagarina Av., 23, 603950 Nizhny Novgorod, Russia について
Salashchenko N.N. について
Institute for Physics of Microstructures RAS, GSP-105, 603910 Nizhny Novgorod, Russia について
Strulya I.L. について
“Compozit”, Pionerskaya Str. 4, 141070, Moscow Region, Korolev, Russia について
Zorina M.V. について
Institute for Physics of Microstructures RAS, GSP-105, 603910 Nizhny Novgorod, Russia について
Zuev S.Yu. について
Institute for Physics of Microstructures RAS, GSP-105, 603910 Nizhny Novgorod, Russia について
Surface & Coatings Technology について
ベリリウム について
入射角 について
熱伝導率 について
X線 について
エッチング について
イオンエッチング について
アモルファスシリコン について
反射率 について
波長 について
ケイ素 について
空間周波数 について
研磨 について
剛性 について
平滑化 について
シリコンウエハ について
X線(EUV)鏡 について
イオン研磨 について
Roughness について
ベリリウム について
その他の無機化合物の薄膜 について
シリコン について
ベリリウム について
表面粗さ について
イオンビームエッチング について