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J-GLOBAL ID：201702281315383350   整理番号：17A1834235

表面微地形測定のための直交位相シフト干渉法【Powered by NICT】

Quadrature phase-shifting interferometry for surface micro-topography measurement

著者 (1件)： Ibrahim Dahi Ghareab Abdelsalam (Engineering and surface metrology department, National Institute of Standards, El-Giza, Egypt)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CLEO-PR  ページ： 1-2  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 採用したわずか二インライン干渉縞をもつ物体を再構成する二段階位相シフト(TSPS)アルゴリズム。平均測定値は公称値と非常に良く一致した。不確実性収支は測定値の10%であると計算された。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アルゴリズム ,  干渉縞 ,  *直交性 ,  再構成 ,  *位相シフト ,  不確実性
準シソーラス用語： *位相シフト干渉法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 微地形 ,  位相シフト干渉法