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J-GLOBAL ID:201702281318615728   整理番号:17A0963996

~28Si単結晶の格子間隔の均一性評価【Powered by NICT】

Uniformity Evaluation of Lattice Spacing of 28Si Single Crystals
著者 (5件):
資料名:
巻: 66  号:ページ: 1304-1308  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0232A  ISSN: 0018-9456  CODEN: IEIMAO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シリコン結晶の格子間隔の均一性は3×10~ 9の分解能で自己参照型ラティスコンパレータによる評価した。格子歪測定は~28Siインゴット(Avo28)から切り出した試料10.5,Avogadro定数を決定するために用いられたを行った。以前の研究で行ったR1試料のためのマッピングの結果4R1,XINT,および9も再評価した。インゴットの種子側4R1とインゴットの中央にXINTは格子間隔の分布を有していた。4R1とXINTに対する格子間隔分布の標準偏差は4.8×10~ 9と5.5×10~ 9であった。とは対照的に,インゴットの尾側から切り出した9R1と10.5の試料は格子間隔の大きな分布を持っていた。インゴット中のこれらの格子間隔分布はインゴット中の不純物分布と一致した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (3件):
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質量,密度,比重の計測法・機器  ,  干渉測定と干渉計  ,  分光法と分光計一般 
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