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J-GLOBAL ID：201702281318615728   整理番号：17A0963996

~28Si単結晶の格子間隔の均一性評価【Powered by NICT】

Uniformity Evaluation of Lattice Spacing of ²⁸Si Single Crystals

著者 (5件)： Waseda Atsushi (National Metrology Institute of Japan, AIST, Tsukuba, Japan) ,  Fujimoto Hiroyuki (National Metrology Institute of Japan, AIST, Tsukuba, Japan) ,  Zhang Xiao Wei (Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Science, Beijing, China) ,  Kuramoto Naoki (National Metrology Institute of Japan, AIST, Tsukuba, Japan) ,  Fujii Kenichi (National Metrology Institute of Japan, AIST, Tsukuba, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 66  号： 6  ページ： 1304-1308  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン結晶の格子間隔の均一性は3×10~ 9の分解能で自己参照型ラティスコンパレータによる評価した。格子歪測定は~28Siインゴット(Avo28)から切り出した試料10.5,Avogadro定数を決定するために用いられたを行った。以前の研究で行ったR1試料のためのマッピングの結果4R1,XINT,および9も再評価した。インゴットの種子側4R1とインゴットの中央にXINTは格子間隔の分布を有していた。4R1とXINTに対する格子間隔分布の標準偏差は4.8×10~ 9と5.5×10~ 9であった。とは対照的に,インゴットの尾側から切り出した9R1と10.5の試料は格子間隔の大きな分布を持っていた。インゴット中のこれらの格子間隔分布はインゴット中の不純物分布と一致した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分解能 ,  *単結晶 ,  格子歪 ,  標準偏差 ,  インゴット ,  不純物分布
準シソーラス用語： 再評価 ,  Avogadro定数 ,  *格子間隔 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

タイトルに関連する用語 (3件)： 格子間隔 ,  均一性 ,  評価