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J-GLOBAL ID：201702281444793440   整理番号：17A1906969

真空電界放出トランジスタ設計における仕事関数の考察

Work function consideration in vacuum field emission transistor design

著者 (7件)： Kim Jiwon (Department of Electrical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, South Korea) ,  Oh Hyeongwan (Department of Electrical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, South Korea) ,  Kim Jungsik (Division of IT Convergence Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, South Korea) ,  Baek Rock-Hyun (Department of Electrical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, South Korea) ,  Han Jin-Woo (Center for Nanotechnology, NASA Ames Research Center, Moffett Field, California 94035) ,  Meyyappan M. (Center for Nanotechnology, NASA Ames Research Center, Moffett Field, California 94035) ,  Lee Jeong-Soo (Department of Electrical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, South Korea)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 6  ページ： 062203-062203-4  発行年： 2017年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケールゲートオールアラウンド(GAA)真空電界放出トランジスタ(VFET)の電気的特性に及ぼす仕事関数エンジニアリングの影響を,三次元技術コンピュータ支援設計シミュレーションを用いて調べた。低いゲート仕事関数は,低電力動作に適したしきい値電圧へと低下させるために有用である。予想されたように,低いエミッタ仕事関数のGAA VFETは,エミッタと真空チャネル間の電子トンネル障壁高さの減少のために,低いしきい値電圧と大きなオン電流を提供する。様々なコレクタ材料で一定のしきい値電圧挙動が観測されたが,より高いコレクタ仕事関数はコレクタ側近くのトンネル障壁高さを増加させ,コレクタから真空へのキャリア生成を軽減し,より低いゲート漏れ電流と高いオン電流をもたらした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電界放出 ,  *トランジスタ ,  *固体素子 ,  *素子構造 ,  *CAD【計算機】 ,  電極 ,  電圧 ,  特性
準シソーラス用語： *TCAD ,  *ゲートオールアラウンド構造 ,  デバイス特性 ,  *ナノデバイス ,  電界エミッタ ,  閾値電圧

分類 (3件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  トランジスタ  (NC03070N) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 真空 ,  電界放出 ,  トランジスタ ,  設計 ,  仕事関数