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J-GLOBAL ID：201702281568330223   整理番号：17A1777605

二次イオン質量分析による量子カスケードレーザの超格子領域の特性化【Powered by NICT】

Characterization of the superlattice region of a quantum cascade laser by secondary ion mass spectrometry

著者 (6件)： Michalowski Pawel Piotr (Institute of Electronic Materials Technology, Wolczynska 133, 01-919 Warsaw, Poland. [e-mail]) ,  Gutowski Piotr ,  Pierscinska Dorota ,  Pierscinski Kamil ,  Bugajski Maciej ,  Strupinski Wlodek
資料名： Nanoscale  (Nanoscale)
巻： 9  号： 44  ページ： 17571-17575  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2323A  ISSN： 2040-3364  CODEN： NANOHL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二次イオン質量分析は,格子整合した(~9.2 μm)Al_0Ti0.48In_0 0.52As/In_0.53Ga_0Ga0.47As/InP量子カスケードレーザの超格子活性領域の深さプロファイリングに適用した。開発した測定法である超格子領域における個々の層の品質を特性化することができ,0.7nmと薄い層を含む。AlInAsとInGaAs層の酸素レベルは1 3×10~17原子当たりcm~3の範囲であり,検出限界(~1×10~16原子当たりcm~3)以下であった。酸素はAlInAs層中に均一に分布されていないより酸素がAlInAs層の成長の第一段階中の構造の中に埋め込まれていると,対応する界面は,他のより汚染され1.83±0.31倍であった。手順はまた,故障解析のための貴重であることが証明された3Dイメージングモードで動作させることができる。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *キャラクタリゼーション ,  *量子カスケードレーザ ,  深さプロフィル ,  故障解析 ,  活性部位 ,  界面 ,  格子整合 ,  ヒ化ガリウムインジウム ,  品質 ,  *超格子 ,  三次元 ,  酸素
準シソーラス用語： ヒ化インジウムアルミニウム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 塩  (CD01050V) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  二次電池  (YB04030K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二次イオン質量分析 ,  量子カスケードレーザ ,  超格子 ,  特性化