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J-GLOBAL ID：201702281842631978   整理番号：17A1392334

圧電片持梁ベースMEMSセンサの動力学に及ぼす亀裂故障の影響【Powered by NICT】

Effects of Crack Faults on the Dynamics of Piezoelectric Cantilever-Based MEMS Sensor

著者 (4件)： Shoaib Muhammad (Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Bandar Seri Iskandar, Perak, Malaysia) ,  Hamid Nor Hisham (Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Bandar Seri Iskandar, Perak, Malaysia) ,  Tariq Jan Mohammad (Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, Malaysia) ,  Zain Ali Noohul Basheer (Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, Malaysia)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 17  号： 19  ページ： 6279-6294  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスの表面の亀裂の存在はそれらの機能的パラメータ,共鳴周波数などに影響を及ぼす。残業,これらの亀裂は,デバイスの破壊を引き起こす可能性がある。亀裂存在の症状を同定することが重要である影響デバイスは顧客これらデバイスの適用中の破壊を回避に移す前に,removed/binをできるようにした。本論文では,圧電片持梁ベースセンサのための線形時間不変(LTI)法を用いた予測と定量的故障モデリングアプローチを提案した。分析断層モデルはカンチレバーの共振周波数を持つ単一エッジ,二重端部,表面亀裂を相関させることによって開発した。Simulinkを利用して,研究中のデバイスの作動とセンシング機構に関連した動的方程式を積分してLTIベース故障装置を設計することである。モデルは同一の設計パラメータを含む有限要素法モデルとの比較により検証し,COMSOL Multiphysicsを使用することである。デバイスの表面上の任意の位置での亀裂の存在は,その共鳴周波数の減少の原因となる振幅を刺激することを観察した。亀裂の存在に起因する振動の振幅の増加は,ピエゾ抵抗機構により感知された電気的である。最後に,故障検出方法論はStateflow法を用いて提示した。提案した技術はMEMSデバイスの故障挙動を研究するために重要であることを見出した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  *亀裂 ,  線形性 ,  *圧電気 ,  故障検出 ,  表面亀裂 ,  *故障 ,  *片持梁 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 圧電抵抗 ,  COMSOL ,  FEMモデル ,  感知機構 ,  故障モデリング ,  *MEMSセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電 ,  片持梁 ,  MEMSセンサ ,  動力学 ,  亀裂 ,  故障