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J-GLOBAL ID：201702281906588592   整理番号：17A0416720

MEMSマイクロカンチレバーシステムの試験と特性化【Powered by NICT】

Testing and characterization of a MEMS micro-cantilever system

著者 (3件)： Said Kafumbe (Department of Electronic Engineering Technology, Higher Colleges of Technology, Abu Dhabi, UAE) ,  Alun Harris (School of Electrical, Electronics and Computer Engineering) ,  Jim Burdess (School of Mechanical Systems Engineering, Newcastle University, UK)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： MWSCAS  ページ： 1-4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平均厚さ2.2±0.04μm,幅52.06±1.93μm,長さ390~1490μmの間の変化のマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)カンチレバーアレイの試験と特性評価を報告した。表面プロファイラーとレーザ振動計の両方を組み合わせた新しい光ワークステーションは,実験装置に用いた。静的および動的試験の両方は,圧電および静電駆動を用いて作製したデバイスの機能性を特性化し,評価を行った。10.2Vと56.4Vの静電電圧下での静的たわみは公称長さ390μmの片持梁のそれぞれ150±15nmおよび760±65nmであった。公称長さ390μmの最短ビームは0.01%のずれとの静電駆動機構を用いて4.417kHzで共鳴公称長さ1490μMの最長ビームは0.03%のずれと316.5Hzで共鳴した。しかし圧電作動を利用して,最短と最長のカンチレバーの共振周波数は,それぞれ4.515kHzと303.82kHzであった。予測値との差異は,最短ビームのための0.008%,および0.01%であった最も長いものであった。すべての結果は,ビームは無線周波数同調への応用のための完全に機能することを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ワークステーション ,  同調 ,  *キャラクタリゼーション ,  共鳴 ,  実験装置 ,  共振周波数 ,  圧電気 ,  *MEMS ,  片持梁 ,  無線周波数 ,  動的試験
準シソーラス用語： 機能性 ,  静電駆動 ,  レーザ振動計 ,  プロファイラ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  マイクロカンチレバー ,  試験 ,  特性化