文献

J-GLOBAL ID：201702282053745660   整理番号：17A0580386

近接場光顕微鏡の構築と超音波振動の検出

著者 (5件)： 山田大貴 (長岡技科大 大学院工学研究科) ,  松谷巌 (長岡技科大 大学院工学研究科) ,  馬場勇至 (長岡技科大 大学院工学研究科) ,  石橋隆幸 (長岡技科大 大学院工学研究科) ,  井原郁夫 (長岡技科大 大学院工学研究科)
資料名： 超音波による非破壊評価シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (Proceedings of the Symposium on Ultrasonic Testing (CD-ROM))
巻： 24th  ページ： 57-58  発行年： 2017年01月26日 
JST資料番号： L2997B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザ超音波法は光の回折限界により,極小領域に超音波の励起・検出が困難である。そこで本研究では,光の回折限界よりも高分解能な超音波計測技術の確立を目的として,近接場光を利用した超音波センサの開発に取り組んだ。まず,原子間力顕微鏡を用いて近接場光顕微鏡を構築した。次に,試料表面が超音波振動する際の近接場光の散乱光を検出し,それを周波数解析した。その結果,本装置による超音波検出の可能性が示唆された。(著者抄録)

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *走査光学顕微鏡 ,  近接場 ,  *超音波振動 ,  *検出 ,  散乱光 ,  周波数解析 ,  音波センサ ,  超音波応用計測 ,  *近接場光学顕微鏡 ,  近接場光 ,  超音波センサ

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  音波伝搬  (BB03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 近接場光 ,  顕微鏡 ,  構築 ,  超音波振動