文献

J-GLOBAL ID：201702282291474468   整理番号：17A0739025

センシング適用における感度強化のための微小片持ち梁の形状とプロファイル調整

Geometry and Profile Modification of Microcantilevers for Sensitivity Enhancement in Sensing Applications

著者 (6件)： LIU Yan (Xidian Univ., Xi’an, CHN) ,  LIU Yan (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  WANG Hai (Xidian Univ., Xi’an, CHN) ,  QIN Hongbo (Xidian Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHAO Wei (Xidian Univ., Xi’an, CHN) ,  WANG Peng (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 29  号： 6 (1)  ページ： 689-698  発行年： 2017年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では,微小片持ち梁ベースのガスセンサ測定感度を向上させるために,各種幾何形状とプロファイルの微小片持ち梁の吸収ガス誘起周波数シフトの問題を検討した。異なる形状の微小片持ち梁の共振周波数を,解析法と有限要素法を用いて調べた。吸収されたガスの質量分布と構造共鳴周波数への周波数シフトの依存性を考慮して,ターゲットガスが吸収された場合の測定感度を増加させるための原理を確立した。これらの結果を用いて,より良い性能を有することが期待されるクランプ端部に台形形状パッドと自由端に長方形のパッドとを備えた階段状微小片持ち梁を,ガス検出の検出素子として提案した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 感度 ,  *片持梁 ,  *ガスセンサ ,  共振周波数 ,  有限要素法 ,  周波数シフト ,  周波数依存性 ,  パッド ,  形状最適化
準シソーラス用語： *微小片持梁 ,  幾何形状 ,  質量分布 ,  検出感度

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  構造動力学  (HD02000E)

引用文献 (14件)：

• Y. Liu, H. Wang, H. Qin, W. Zhao, and P. Wang: Proc. 2016 Int. Symp. Computer, Consumer and Control (IEEE, Xi'an, 2016) p. 610.
• P. S. Waggoner and H. G. Craighead: Lab Chip 7 (2007) 1238.
• J. El-Ali, P. K. Sorger, and K. F. Jensen: Nature 442 (2006) 403.
• J. Fritz: Analyst 133 (2008) 855.
• S. H. Wang, S. L. Tan, G. Xu, and K. Koyama: Meas. Sci. Technol. 22 (2011) 094013.

タイトルに関連する用語 (5件)： センシング ,  感度 ,  強化 ,  微小片持ち梁 ,  プロファイル