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J-GLOBAL ID：201702282588496794   整理番号：17A1459903

リモートプラズマ蒸着を用いて作製したFePt膜における結晶粒サイズの解析【Powered by NICT】

Analysis of grain size in FePt films fabricated using remote plasma deposition

著者 (7件)： Huskisson D. (Nano Engineering & Storage Technologies Research Group, The School of Computer Science, The University of Manchester, Manchester M13 9PL, UK) ,  Huskisson D. (School of Materials, The University of Manchester, Manchester M13 9PL, UK) ,  Zygridou S. (Nano Engineering & Storage Technologies Research Group, The School of Computer Science, The University of Manchester, Manchester M13 9PL, UK) ,  Haigh S.J. (School of Materials, The University of Manchester, Manchester M13 9PL, UK) ,  Barton C.W. (Nano Engineering & Storage Technologies Research Group, The School of Computer Science, The University of Manchester, Manchester M13 9PL, UK) ,  Nutter P.W. (Nano Engineering & Storage Technologies Research Group, The School of Computer Science, The University of Manchester, Manchester M13 9PL, UK) ,  Thomson T. (Nano Engineering & Storage Technologies Research Group, The School of Computer Science, The University of Manchester, Manchester M13 9PL, UK)
資料名： Journal of Magnetism and Magnetic Materials  (Journal of Magnetism and Magnetic Materials)
巻： 443  ページ： 67-72  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0644A  ISSN： 0304-8853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 遠隔プラズマスパッタリング(RPS)は,金属薄膜を堆積させるために用いたスパッタリングパラメータに対する高度の制御を提供し,媒体の粒径分布を制御する能力を実証した。狭い粒径分布は,将来の磁気媒体のための重要な要件となっている。RPSは,連続的で非偏析合L1_0FePt薄膜の粒径分布にどのように影響するかの包括的な磁気測定,X線回折および透過型電子顕微鏡研究を報告した。これらは熱アシスト磁気記録のための,より一般的には磁気抵抗ランダムアクセスメモリとスピントルク発振器のようなスピントロニクスデバイスのためのモデル培地を提供し,非常に高い垂直結晶磁気異方性が要求される。ターゲットDCバイアス電圧,RPSを用いたプラズマ発生器の独立に調整できる,を変えると,堆積した,無秩序化FePtの6.5±0.1nm,平均粒径の有意な統計的変化を生じなかった。800°Cでのアニーリングにより,良く秩序化したL1_0相を作り出すが,増加平均粒径8.3 13 6nm,6.4 8~3.5nmの顕著に広い粒径分布をもたらす。これらの結果は,RPSは整然と配列てしL1_0FePt薄膜を生成することができるが,それはFePtの粒径を決定するのに利点を提供しない,他の薄膜系で報告されたことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 磁気 ,  *プラズマ ,  X線回折 ,  金属薄膜 ,  焼なまし ,  *プラズマCVD ,  透過型電子顕微鏡 ,  媒質 ,  粒径 ,  磁気異方性 ,  薄膜 ,  *結晶粒径 ,  粒度分布 ,  磁気測定
準シソーラス用語： プラズマスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： FePt ,  薄膜 ,  リモートプラズマスパッタリング ,  粒度分布 ,  X線回折 ,  透過型電子顕微鏡観察

分類 (4件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  酸化物結晶の磁性  (BM06050E) ,  磁性材料  (NA04040H) ,  磁性流体  (BM06090W)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ蒸着 ,  作製 ,  結晶粒サイズ ,  解析