文献

J-GLOBAL ID：201702283967236300   整理番号：17A1392366

設計指針を予防するガラス割れを生成するための決定再分布層応力への複屈折の利用【Powered by NICT】

Use of Birefringence to Determine Redistribution Layer Stresses to Create Design Guidelines to Prevent Glass Cracking

著者 (5件)： McCann Scott (Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA, USA) ,  Sato Yoichiro (Asahi Glass Company Ltd., Tokyo, Japan) ,  Ogawa Tomo (Asahi Garasu Kabushiki Kaisha, Tokyo, Japan) ,  Tummala Rao R. (Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA, USA) ,  Sitaraman Suresh K. (Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Device and Materials Reliability  (IEEE Transactions on Device and Materials Reliability)
巻： 17  号： 3  ページ： 585-592  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1320A  ISSN： 1530-4388  CODEN： ITDMA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス基板は,それらの理想的な材料特性に起因して包装のために益々注目を集めている;が,ガラスの脆性が課題となっている。ダイシング誘起欠陥と再分布層(RDL)応力によるガラス亀裂に焦点を当てた。銅と誘電体高分子から構成される,RDLは自由端効果に起因する露出基板ガラスの端部での引張となり,低温での亀裂伝搬を引き起こす可能性があるまたはガラスは水に曝した時に応力を生成する。本論文の最初の部分では,複屈折測定によりRDLによるガラスで誘起された2次主応力の差を特性化した。各材料による応力は個々に異なる厚さと銅分布を有するガラス基板を調べることにより,有限要素モデルにより計算した。本論文の第二部では,プレコンディショニングと熱サイクルを受けたガラス基板の信頼性に焦点を当てた。実験では,厚さ140~420μmの十種類のガラス基板構造を 40~125°C熱サイクルを受け,より厚い(≧120μm全)形成は,亀裂を示したが,薄い積層(≦80 μm全)は分解しないことがわかった。亀裂伝搬を予測するモデルは複屈折により測定した応力を用いて開発し,亀裂伝搬の発生を正確に予測するために検証した。本論文の最後の部分では,これらのモデルはRDL応力とダイシング誘起欠陥に起因するガラス割れを防止するための設計ガイドラインを開発した。これらガイドラインは,熱サイクル実験中に観測されたエネルギー解放率に基づくガラス割れを防止するための許容ダイシング欠陥サイズとビルドアップ厚さの組合わせを特定する。亀裂伝搬と亀裂伝搬のエネルギー解放率の臨界値は,G=1.05J/m~2とG=0.87J/m~2ではなかったであった。許容ダイシング欠陥サイズとビルドアップ厚さは逆比例することが判明し,それは一般的に80μmまたはそれ以下で全蓄積厚さを維持するために推奨される。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *亀裂 ,  キャラクタリゼーション ,  信頼性 ,  亀裂伝搬 ,  *再分布 ,  板ガラス ,  脆性 ,  エネルギー解放率 ,  高分子 ,  *複屈折 ,  *ガラス ,  熱サイクル ,  銅
準シソーラス用語： ダイシング ,  ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 設計指針 ,  予防 ,  ガラス ,  再分布 ,  応力 ,  複屈折