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J-GLOBAL ID：201702284505125481   整理番号：17A0865197

偏心量計算に第2種完全楕円積分を用いた高精度ウエハプリアライナの開発

Development of a Precision Pre-aligner Using the Complete Elliptic Integral of the Second Kind to Compute an Eccentricity

著者 (2件)： 森田一弘 ((株)日立ハイテクノロジーズ) ,  涌井伸二 (東京農工大学大学院工学研究院)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 83  号： 6  ページ： 579-584(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プリアライナの原理に基づき,外縁量から直接取得できないウエハの偏心量を正確に求める計算法を提案した。まず,測長走査型電子顕微鏡とプリアライナの構成を示し,センサによる計測データの幾何学解析結果を示し,この結果を用いた偏心量計算法を示し,ウエハサイズ変動の影響を調べた。1)一次元イメージセンサによるウエハ外縁位置の軌跡は楕円であり,2)第2種楕円積分によって偏心量を計算できることを確認した。この結果,位置合せ時間を短縮でき,ウエハ検査枚数を増大できた。

シソーラス用語： *偏心 ,  *工具 ,  ウエハ【IC】 ,  アルゴリズム ,  *積分 ,  精度 ,  走査電子顕微鏡 ,  データ解析 ,  楕円 ,  アラインメント ,  開発 ,  高速化 ,  イメージセンサ
準シソーラス用語： *アライナ ,  計算アルゴリズム ,  高精度 ,  装置開発 ,  測長走査型電子顕微鏡 ,  *楕円積分

著者キーワード (10件)： pre-alignment ,  elliptic integral ,  eccentricity computation ,  semiconductor ,  wafer ,  pre-alignment ,  elliptic integral ,  eccentricity computation ,  semiconductor ,  wafer

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• 1) ITRS 2013 Edition Table ORTC1: Executive Summary, International Technology Roadmap for Semiconductor(2013)17.
• 2) 日立製作所:特許 第2804547号 (1998).
• 3) 日立製作所:特許 第1897441号 (1994).
• 4) キヤノン:特許 特開2010-283304 (2010).
• 5) 佐々木達治郎:等角写像の応用, 現代工学社(1974).

タイトルに関連する用語 (4件)： 偏心量 ,  計算 ,  楕円積分 ,  開発