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J-GLOBAL ID:201702284639895021   整理番号:17A1727271

pGaNゲートH EMTデバイスにおけるゲートスタック最適化のためのTCAD【Powered by NICT】

TCAD for gate stack optimization in pGaN Gate HEMT devices
著者 (8件):
資料名:
巻: 2017  号: SISPAD  ページ: 113-116  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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pGaNゲートH EMTは,マグネシウム(Mg)ドーピングの使用はしきい値電圧(Vth)の変調を可能にするオン状態抵抗(Ron)分解のコストでなのではなく有望な通常オフトランジスタである。本研究では,実験データと一致し電気的パラメータ(VthとRon)の両方に及ぼすMgドーピングの影響を記述する厳密なTCADシミュレーションを提案した。はこのVth Ronプロセスウィンドウを最適化するための追加手段としてTCADの重要性を強調するCopyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
分類
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トランジスタ 
タイトルに関連する用語 (5件):
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