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J-GLOBAL ID：201702285022315582   整理番号：17A0881437

部分的に放出されたジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)ダイヤフラムマイクロアクチュエータの実現可能性研究【Powered by NICT】

Feasibility study of a partially released lead-zirconate-titanate (PZT) Diaphragm micro-actuator

著者 (4件)： Liu Yifeng (Department of Mechanical Engineering, University of Washington, Seattle, WA 98195-2600, USA) ,  Luo Chuan (Department of Precision Instruments, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Cao G.Z. (Department of Material Science & Engineering, University of Washington, Seattle, WA 98195-2120, USA) ,  Shen I.Y (Department of Mechanical Engineering, University of Washington, Seattle, WA 98195-2600, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 259  ページ： 1-13  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電薄膜マイクロセンサとアクチュエータは,その全境界付近で固定された横隔膜の形で現れることが多い。マイクロデバイスは,サイズが縮小すると,その感度が減少し,固有振動数は増加し,その性能を低下させる。論文の目的は,そのアンカーで横隔膜を放出する部分的に貫通エッチスロットを導入することの実現可能性を研究することである。結果として,マイクロデバイスは,その感度と固有振動数を有意に変更せずにサイズを縮小できる。本論文では,まず有限要素シミュレーション概念を証明を提示した。を部分的に放出された境界を持つジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)薄膜ダイアフラムセンサ/アクチュエータを作製するための加工段階を記述した。ネコ耳と電極不均一性のような作製で遭遇する課題を説明し,克服した。事例研究として,設計,作製し,片持梁の先端の三つの部分的に放出されたPZTダイヤフラムを用いたか牛内マイクロアクチュエータプローブを試験する実現可能性を実証した。実験測定感度はダイヤフラムたわみが優勢であるが,第1固有振動数は片持梁構造が支配的であることを示した。有限要素シミュレーションは実験測定値を確認しただけでなく,センサ/アクチュエータ性能のためのダイヤフラム寸法を最適化した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 不均一性 ,  固有振動数 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  計算機シミュレーション ,  *アクチュエータ ,  たわみ ,  *実用化試験 ,  片持梁 ,  横隔膜 ,  センサ ,  薄膜 ,  *ダイヤフラム ,  最適化
準シソーラス用語： 有限要素シミュレーション ,  マイクロデバイス ,  マイクロセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 放出 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  PZT ,  実現可能性 ,  研究