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J-GLOBAL ID:201702285366024399   整理番号:17A0861923

分子動力学法および異方性弾性論を用いた多層積層体の特異応力場の解析

著者 (2件):
資料名:
巻: 54th  ページ: ROMBUNNO.M023  発行年: 2017年03月08日 
JST資料番号: L0204C  ISSN: 2424-2772  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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電子デバイスやMEMSなどの微小構造体には,単結晶などの異方性材料が多く使用されている。それらの結晶の接合した界面にミスフィット転位が存在していることで,電流のリーク源や応力が発生する原因となる。そのため,ナノスケールにおける異種材接合体の強度評価,接合界面の力学的特性の評価が重要となる。本研究では,分子動力学法を用いて複数の材料から成るナノメートルサイズの異方性異材接合体について,特異応力場を調べる。また,界面応力・界面弾性および界面のミスフィット転位などを考慮した弾性論から応力場の解析を行う。(著者抄録)
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分類 (3件):
分類
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固体の機械的性質一般  ,  力学  ,  数値解析,近似法 
タイトルに関連する用語 (5件):
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