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J-GLOBAL ID：201702285931442974   整理番号：17A1961445

異なる電動機駆動法によるターボ分子ポンプのロータ温度の研究【Powered by NICT】

Investigation of the rotor temperature of a turbo-molecular pump with different motor drive methods

著者 (2件)： Liu Gang (School of Instrumentation Science & Opto-electronics Engineering, BeiHang University, Beijing, 100191, China) ,  Mao Kun (School of Instrumentation Science & Opto-electronics Engineering, BeiHang University, Beijing, 100191, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 146  ページ： 252-258  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ターボ分子ポンプ(TMP)が高速で走行する際に,固定子電流の高調波成分により誘起された渦電流損失はロータ温度を上昇させる。有効冷却法を用いて,回転子温度は高真空環境下での固定子温度よりもそれほど高くない。さらに,回転子過熱はロータシースの磁性と膨張変形,TMPシステムの安定性と制御性能双方を分解するの損失をもたらす可能性がある。本論文では,回転子温度の因子を最初に解析した。渦電流損失はTMPシステムのロータの主な熱源である。ロータ温度を制御するために,二種類の正方形電流と正弦波電流を含む電動機駆動の方法が渦電流損失を最小化した。正方形電流駆動法は,その単純性のための一般的で低コストが,高調波電流成分,回転子における渦電流損を減少させるを持つので正弦波電流法はTMP駆動に対してより適している。最後に,4100 3L/s排気速度を用いた磁気浮上TMPシステムで試験し,実験結果は解析を検証した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 磁気浮上 ,  *電動機 ,  熱源 ,  高速度 ,  正弦波 ,  渦電流損 ,  過熱 ,  電流 ,  高調波 ,  *回転子 ,  高調波電流 ,  *電動機駆動 ,  固定子
準シソーラス用語： 排気速度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 真空 ,  ターボ分子ポンプ ,  回転子温度 ,  渦電流損失 ,  ブラシレス永久磁石(PM)電動機 ,  駆動

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電動機駆動 ,  ターボ分子ポンプ ,  ロータ ,  研究