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J-GLOBAL ID:201702286081583403   整理番号:17A1639079

近紫外発光ダイオード効率AlGaN/InGaNベースのCr/ITO半透明n型電極【Powered by NICT】

Cr/ITO semi-transparent n-type electrode for high-efficiency AlGaN/InGaN-based near ultraviolet light-emitting diodes
著者 (4件):
資料名:
巻: 111  ページ: 872-877  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0600B  ISSN: 0749-6036  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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種々の半透明Cr/ITO n型接触を用いて作製した近紫外(NUV)(390 nm)発光ダイオード(LED)の電気的性能を調べた。は400°Cでのアニーリング後,Cr/ITO(10 nm/40 nm)接触した9.8×10~ 4Ωcm~2の比接触抵抗のオーミックことが示された。異なるCr/ITO(6 12 nm/40 nm)電極を用いて作製した近紫外AlGaN系LEDは20mAの注入電流,Cr/Ni/Au(20 nm/25 nm/200 nm)電極(3.29 V)を有する参照LEDのそれに似たで3.27 3.30Vの順方向バイアス電圧を示した。Cr/ITO電極を有するLEDは10.69 11.98Ωの直列抵抗を与えたが,直列抵抗は,参照LEDのための10.84Ωである。Cr/ITO試料の透過率は有意に改善し400°Cでアニールしたときアニールした試料の透過率(390nmで25.8 45.2%)はCr層の厚さの増加と共に減少した。Cr/ITO電極を持つLEDは,参照LED(Cr/Ni/Au電極)よりも高い光出力を示した。特に,Cr/ITO(12 nm/40 nm)電極を有するLEDは,参照LEDよりも100mAで9.3%の高い光出力を示した。X線光電子分光法(XPS)と電気的結果に基づいて,オーム形成機構を記述し,議論した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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