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J-GLOBAL ID：201702286364188573   整理番号：17A1276811

0.01ドル/金型製品のためのはん痕自由「MIS(低侵襲手術)プロセスで作製した0.4mm×0.4mm気圧計センサチップ【Powered by NICT】

0.4mm×0.4mm barometer sensor-chip fabricated by a scar-free `MIS’ (minimally invasive surgery) process for 0.01US$/die product

著者 (5件)： Ni Zao (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Jiao Ding (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Zou Hongshuo (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Wang Jiachou (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Li Xinxin (State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 774-777  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： USproduct0.01低コストのための0.4mm×0.4mmの小さな圧電抵抗絶対圧力センサ(指標),スマートホン,雄と消費者電子市場で要求されている広くを報告した。センサを設計した(図2(a)における3D方式)と新しいはん痕自由MIS(微小孔間エッチとシーリング,同じ略語を用いた低侵襲手術として)MEMSプロセスにより作製した。この新しく開発したプロセスは膜面積からシールを除去し,それによって感度=0.98mV/kPa/3~4.3Vと非線形性±0.32%の良好な性能を達成した。高収率単一ウエハ片面プロセスにより,超低価格0.01US/dieの6インチウエハ当たり90000金型の高スループットのおかげで得られた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *センサ ,  MEMS ,  スマートフォン ,  *瘢痕 ,  三次元 ,  *低侵襲手術 ,  エッチング ,  圧力センサ ,  密封装置 ,  *気圧計 ,  非線形性
準シソーラス用語： ハイスループット ,  電子市場 ,  圧電抵抗 ,  *センサチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 医療用機器装置  (GA05020L)

タイトルに関連する用語 (8件)： 金型 ,  はん痕 ,  MIS ,  低侵襲手術 ,  プロセス ,  作製 ,  気圧計 ,  センサチップ