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J-GLOBAL ID：201702286676977497   整理番号：17A1623925

導電性原子間力顕微鏡で調べたチタン酸バリウム分子ビームエピタクシー成長させたの電気的性質【Powered by NICT】

Electrical properties of Molecular Beam Epitaxy grown Barium Titanate probed by conductive Atomic Force Microscopy

著者 (4件)： Martin Simon (Institut des nanotechnologies de Lyon (INL), Institut National des Sciences Appliquees de Lyon, Universite de Lyon, UMR CNRS 5270, 7 avenue Capelle, F-69621 Villeurbanne Cedex, France) ,  Baboux Nicolas (Institut des nanotechnologies de Lyon (INL), Institut National des Sciences Appliquees de Lyon, Universite de Lyon, UMR CNRS 5270, 7 avenue Capelle, F-69621 Villeurbanne Cedex, France) ,  Albertini David (Institut des nanotechnologies de Lyon (INL), Institut National des Sciences Appliquees de Lyon, Universite de Lyon, UMR CNRS 5270, 7 avenue Capelle, F-69621 Villeurbanne Cedex, France) ,  Gautier Brice (Institut des nanotechnologies de Lyon (INL), Institut National des Sciences Appliquees de Lyon, Universite de Lyon, UMR CNRS 5270, 7 avenue Capelle, F-69621 Villeurbanne Cedex, France)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 642  ページ： 324-327  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分子ビームエピタクシーにより成長させたチタン酸バリウム厚さ60nmの層の電気的特性を超高真空中と空気中で導電性原子間力顕微鏡,および大きな電極で得られた電気的測定と比較してナノスケールで調べた。測定を空気中で動作した場合,この測定の雰囲気の役割を抵抗メモリ効果の欠如により明瞭に強調した。このような試料中の酸素空格子点の高濃度を考慮して,著者らは,この違いは環境の酸素による酸素空格子点の消滅により説明されるかもしれないと結論した。を原子間力顕微鏡でこのような薄い誘電体膜の電気的性質をプローブで測定する時には測定の雰囲気を正確に制御するための必要性を強調した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *導電性 ,  超高真空 ,  *MBE成長 ,  *電気的性質 ,  *チタン酸バリウム ,  酸素 ,  電気測定 ,  プローブ
準シソーラス用語： 高濃度 ,  酸素空格子点 ,  抵抗メモリ ,  ナノスケール ,  *導電性原子間力顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 原子間力顕微鏡観察 ,  導電性A FM ,  チタン酸バリウム薄膜 ,  酸素空格子点 ,  抵抗記憶効果

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 導電性原子間力顕微鏡 ,  チタン酸バリウム ,  分子ビームエピタクシー成長 ,  電気的性質