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J-GLOBAL ID：201702286786046525   整理番号：17A0635612

面内応力を有する圧電薄膜複合ダイヤフラムの電気機械的挙動

The electromechanical behavior of piezoelectric thin film composite diaphragms possessing in-plane stresses

著者 (6件)： GRIFFIN B A (Sandia National Lab., NM, USA) ,  WILLIAMS M D (Sandia National Lab., NM, USA) ,  WANG G (MEMS Drive, CA, USA) ,  SANKAR B V (Univ. Florida, FL, USA) ,  CATTAFESTA L N (Florida State Univ., FL, USA) ,  SHEPLAK M (Univ. Florida, FL, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 4  ページ： 045017,1-12  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電複合ダイヤフラムはMEMSに広く使用されており,エネルギーハーベスタ,加速度計,マイクロポンプ圧電マイクロマシン,加工超音波トランスデューサ(PMUT),およびマイクロフォンなどに応用されている。長方形または円形のダイヤフラム構造が一般的であり,その用途に応じて,均一または不均一な層組成を有することができる。本稿では,面内応力,横方向圧力,および印加電圧にさらされた,半径方向に不均一で多層の軸対称圧電ダイアフラムの解析モデルが開発された。このモデルは,以前は集中定数素子モデリングとともにマイクロホンとPMUTデバイスの性能を予測するために使用された。これらの装置の測定値を理論的予測値と比較した。製造に起因する残留応力を含めると,圧力および電圧負荷の場合,モデル精度が10倍および6倍増加したが,両者の間の偏差は,主にモデル入力として使用される膜応力の測定の不正確さに起因していた。正確な入力が与えられれば,このモデルは効率的なファイリング時間のために,設計最適化で使用するための貴重な予測ツールとなる。

シソーラス用語： *薄膜 ,  *ダイヤフラム ,  *MEMS ,  電気機械 ,  *応力 ,  マイクロホン ,  *最適化
準シソーラス用語： *圧電薄膜 ,  エネルギーハーベスタ ,  面内応力 ,  設計最適化

分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  エネルギー変換装置  (LC01020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 面内応力 ,  圧電薄膜 ,  ダイヤフラム ,  機械的挙動