文献

J-GLOBAL ID：201702287004908045   整理番号：17A0684979

走査型電子顕微鏡と一体化した汎用原子間力顕微鏡

A versatile atomic force microscope integrated with a scanning electron microscope

著者 (5件)： Kreith J. (Department of Material Physics, Montanuniversitaet Leoben, Jahnstrasse 12, 8700 Leoben, Austria) ,  Strunz T. (GETec Microscopy GmbH, Vienna, Austria) ,  Fantner E. J. (GETec Microscopy GmbH, Vienna, Austria) ,  Fantner G. E. (Laboratoray for Bio- and Nano-Instrumentation, EPFL, Lausanne, Switzerland) ,  Cordill M. J. (Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Jahnstrasse 12, Leoben 8700, Austria)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 5  ページ： 053704-053704-6  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型電子顕微鏡(SEM)に取付けられる多用途原子間力顕微鏡(AFM)を示した。この装置の柔軟な設計は,真空中のナノインデンテーション直後のAFM撮像のような,異なる実験構成に対する相関分析を可能にする。SEM内に設置した特別設計のAFMの能力を実証するために,単結晶真鍮のナノ圧痕周辺に発生した滑りステップを調べた。この例は,AFMとSEMイメージングとの組合せが,酸化物形成の妨げとならない滑りステップ高さの測定による定量的な転位分析に如何に利用できるかを示す。最後に,その場ナノインデンテーション技術を示し,圧痕子先端の下で起こる塑性変形を調べるために,インデンテーション実験中にAFMイメージングを用いる方法を示した。機械的窪みデータをSEMおよびAFM画像と相関付け,表面へ向けて放出された転位の数を推定した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  *ナノインデンテーション ,  画像 ,  圧痕 ,  ナノ構造 ,  滑り ,  *電子顕微鏡観察 ,  転位【結晶】
準シソーラス用語： ナノ圧痕 ,  電子顕微鏡画像

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査型電子顕微鏡 ,  汎用 ,  原子間力顕微鏡