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J-GLOBAL ID：201702287255416656   整理番号：17A1689025

偏光空隙率測定によるゾル-ゲル薄膜の特性評価

Characterization of sol-gel thin films by ellipsometric porosimetry

著者 (1件)： LOEBMANN Peer (Fraunhofer-Inst. Silicatforschung, Wuerzburg, DEU)
資料名： Journal of Sol-Gel Science and Technology  (Journal of Sol-Gel Science and Technology)
巻： 84  号： 1  ページ： 2-15  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： W0812A  ISSN： 0928-0707  CODEN： JSGTEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分光偏光解析,分光偏光ポロシメトリーは,多孔質薄膜の特性評価で大きな重要性を増加する。収着のin situ測定は開放気孔率,細孔径分布,膜バックボーン反射率,伸縮性の評価を促進する。分光偏光ポロシメトリーは最適なゾル-ゲル膜の特性評価法で,他の分析法では困難,不可能な開放気孔率や細孔径分布などの特性評価を可能にした。これらの微細構造特性だけでなく光学的性質および機械的性質の評価も可能にした。しかし,これらの利点は慎重なデータ解析と比較分析法の利用に強く依存する。

シソーラス用語： *空隙率 ,  *薄膜 ,  *ゾル-ゲル法 ,  細孔径分布 ,  微細構造 ,  光学的性質 ,  機械的性質 ,  データ解析
準シソーラス用語： ゾル-ゲル膜 ,  比較分析

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 偏光 ,  空隙率 ,  ゾル-ゲル ,  薄膜 ,  特性評価