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J-GLOBAL ID：201702287849674253   整理番号：17A0193740

偏光解析測定のための回転可能なOffner画像化システム

Rotatable Offner imaging system for ellipsometric measurement

著者 (8件)： Jin L. (Faculty of Engineering, University of Yamanashi, Kofu, 400-8511 Yamanashi, Japan) ,  Tanaka T. (Faculty of Engineering, University of Yamanashi, Kofu, 400-8511 Yamanashi, Japan) ,  Kondoh E. (Faculty of Engineering, University of Yamanashi, Kofu, 400-8511 Yamanashi, Japan) ,  Gelloz B. (Faculty of Engineering, Nagoya University, Nagoya, Aichi 464-8601, Japan) ,  Sano K. (Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan) ,  Fujio I. (Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan) ,  Kajiyama Y. (Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan) ,  Uehara M. (Mejiro Genossen, Inc., Tokyo 161-0033, Japan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 1  ページ： 013704-013704-7  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きい視野を持つ高空間分解能画像化偏光解析測定を実現するために,我々は単位倍率を持つ回転可能なOffnerシステムを開発した。従来のOffner画像化システムを偏光解析測定のために試料面に関して傾けると,面の小部分だけが焦点範囲にある。ここで開発した回転可能なOffnerシステムは,全物体を全ての回転を通して焦点範囲中にする。Offnerシステムのプロトタイプと画像化偏光解析器の性能を,シリコンウエハと,ガラス基板上に蒸着したクロム膜で作った分解能ターゲットの様な試料について,偏光解析パラメータΔとΨのマップを発生させて試験する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  *画像処理システム ,  回転 ,  視野 ,  空間分解能 ,  焦点 ,  開発

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 偏光解析 ,  画像化システム