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J-GLOBAL ID：201702287889875578   整理番号：17A0449082

対向ターゲットスパッタリングにより堆積したMoN_x皮膜の構造と性質に及ぼす窒素流速の影響【Powered by NICT】

Effect of nitrogen flow rate on structure and properties of MoN_x coatings deposited by facing target sputtering

著者 (4件)： Wang Tao (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China) ,  Zhang Guojun (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China) ,  Ren Shuai (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China) ,  Jiang Bailing (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 701  ページ： 1-8  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： いろいろな窒素量の窒化モリブデン(MoN_x)被覆を,種々のN_2流量と反応性スパッタリングモリブデン金属ターゲットにより堆積した。コーティングの構造をX線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),透過型電子顕微鏡(TEM)およびX線光電子分光法(XPS)により調べた。被覆の機械的特性とトライボロジー特性をナノインデンテーションとボールオンディスク摩耗試験により評価した。構造解析から,これらの被覆は,bcc-Mo相からfccγMo_2N相へ,そしてN_2流量の増加とともにfcc B1-MoNすることを示した。相構造はα-MoからのγMo_2Nに変わると,MoN_x被覆はより微小な結晶粒サイズで緻密な結晶構造,硬度向上に大きく寄与しているを示した。γMo_2N被覆は32.5GPaの最高硬度を示した。相構造はB1-MoN被覆に更に変化するとして,硬度のわずかな低下が観察された。γMo_2N構造化被覆は主にMo構造MoN_xコーティングまたはB1-MoN被覆のそれよりも低いCOFを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 結晶粒径 ,  透過型電子顕微鏡 ,  被覆 ,  ナノインデンテーション ,  モリブデン ,  結晶構造 ,  X線光電子分光法 ,  トライボロジー ,  摩耗試験 ,  X線回折 ,  *窒素 ,  硬度 ,  走査電子顕微鏡 ,  反応性スパッタリング
準シソーラス用語： 窒化モリブデン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 窒化モリブデン被覆 ,  反応性スパッタリング ,  Hardness ,  トライボロジー

分類 (2件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： ターゲット ,  スパッタリング ,  堆積 ,  皮膜 ,  性質 ,  窒素 ,  流速