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J-GLOBAL ID：201702288162542195   整理番号：17A1907004

大周期性をもつ低χブロック共重合体の合成と自己集合

Synthesis and self-assembly of low χ block copolymers with large periodicity

著者 (5件)： Breaux Caleb L. (Department of Chemical and Biomolecular Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, Georgia 30332) ,  Henderson Clifford L. (Department of Chemical and Biomolecular Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, Georgia 30332; Department of Chemistry and Biochemistry, Georgia Institute of Technology, Atlanta, Georgia 30332; and Department of Chemical and Biomedical Engineering, University of South Flori...) ,  Li Haibo (Kempur Microelectronics, Inc., Beijing 101312, China) ,  Li Bing (Kempur Microelectronics, Inc., Beijing 101312, China) ,  Neisser Mark (Kempur Microelectronics, Inc., Beijing 101312, China)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 6  ページ： 06GI02-06GI02-9  発行年： 2017年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 典型的にブロック共重合体(BCP)は,非常に小さな長さスケール(<20nm)における相分離能力のために採用されるが,BCPピッチの上限はほとんど研究されていない。BCPを形成する大きなピッチは,旧式のリソグラフィ露光装置を用いた安価なチップ製造を延長するだけでなく,フォトニック結晶としての光フィルタリングにおける応用を示した。これら大きなNのBCPについては,欠陥消滅のための高いエンタルピーペナルティのために,多くの疑わしい欠陥は相分離したBCPに運動論的にトラップされているので,低いχは魅力的である。ここでは,248nmリソグラフィ用の有用なブロック共重合体として,BCP ポリ(4-tert-ブチルスチレン)-ブロック-ポリ(プロピルメタクリル酸)(PtBS-b-PPMA)を合成し,特性評価した。PtBS-b-PPMAのχ値を計算し,ピッチを測定するために,小角度X線散乱(SAXS)を利用した。PtBS-b-PPMAのχを測定し,PS-b-ポリ(メチルメタクリラート)の約2/3であることを見出し,より少ない運動論的にトラップされた欠陥を許容するBCPをもたらした。垂直フィーチャを形成するために,BCPの相分離のために中性下地層が細工されている。Nに依存して20~83nmの範囲でピッチが実現された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ブロック共重合体 ,  *自己集合 ,  *相分離 ,  *フォトニック結晶 ,  *光学フィルタ ,  小角X線散乱 ,  下層
準シソーラス用語： 光フィルタ ,  小角度X線散乱 ,  下地層

分類 (3件)： 共重合  (CG04030D) ,  光デバイス一般  (BD06010L) ,  X線回折法  (BK01020I)

物質索引 (2件)： 4-tert-ブチルスチレン ,  ヒドロキシプロピルメタクリル酸

タイトルに関連する用語 (3件)： 周期性 ,  ブロック共重合体 ,  自己集合