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J-GLOBAL ID：201702288296735546   整理番号：17A1810697

加熱機構を持ったクロスニコル光学系を用いたLiNbO₃結晶における欠陥検出

Defect detection in LiNbO₃ crystals using cross Nicol optical system with heating function

著者 (4件)： HOSHINO Yasushi (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  SHIMIZU Hajime (NEL Crystal, Fukushima, JPN) ,  ARISHIMA Koichi (NTT Electronics, Ibaraki, JPN) ,  KOZAWAGUCHI Haruki (Niigata Univ. Health and Welfare, Niigata, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 7  ページ： 078001.1-078001.3  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 【同名英文抄録】LiNbO₃結晶は,光学デバイスや表面弾性波フィルタなどのアプリケーションにとって重要です。しかしながら,このような結晶中の欠陥は,デバイスの特性に悪影響を与える可能性がある。したがって,欠陥の制御は,デバイス製造にとって重要である。本研究では,加熱機能と欠陥画像強調を有するクロスニコル光学系を用いた新しい欠陥検出法を提案した。実験により,この方法で検出された欠陥は,X線トポグラフィによって画像化された欠陥に対応することが確認された。加熱中に電荷により誘導される,追加の欠陥が形成されることが判明した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 加熱器 ,  *ニオブ酸リチウム ,  *損傷検出 ,  *格子欠陥 ,  *画像強調 ,  *X線トポグラフィー ,  特性 ,  SAWフィルタ
準シソーラス用語： *構造的欠陥検出 ,  結晶欠陥 ,  デバイス特性 ,  表面弾性波フィルタ

分類 (3件)： 金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y) ,  その他の無機化合物の格子欠陥  (BK12050B) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

引用文献 (6件)：

• T. Yamada, N. Niizeki, and H. Toyoda, Jpn. J. Appl. Phys. 6, 151 (1967).
• S. Miyazawa, Opto-Electron. Rev. 11, 77 (2003).
• K. Kitamura, Y. Furusawa, and N. Iyi, Oyo Buturi 65, 931 (1996) [in Japanese].
• M. Yamada, Rev. Sci. Instrum. 64, 1815 (1993).
• M. Yamada, M. Matsumura, M. Fukuzawa, K. Higuma, and H. Nagata, Proc. SPIE 3936, 101 (2000).

タイトルに関連する用語 (3件)： 光学系 ,  結晶 ,  欠陥検出