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J-GLOBAL ID：201702290375371955   整理番号：17A0850862

サブナノメータ分解能XPS深さプロファイリング:原子の検出【Powered by NICT】

Sub-nanometer resolution XPS depth profiling: Sensing of atoms

著者 (8件)： Szklarczyk Marek (Faculty of Chemistry, University of Warsaw, ul. Pasteura 1, 02-093 Warsaw, Poland) ,  Szklarczyk Marek (Shim-Pol, ul. Lubomirskiego 5, 05-080 Izabelin, Poland) ,  Macak Karol (Kratos Analytical Ltd, Wharfside, Trafford Wharf Road, Manchester, M17 1GP, UK) ,  Roberts Adam J. (Kratos Analytical Ltd, Wharfside, Trafford Wharf Road, Manchester, M17 1GP, UK) ,  Takahashi Kazuhiro (Kratos XPS Section, Shimadzu Corp., 380-1 Horiyamashita, Hadano, Kanagawa 259-1304, Japan) ,  Hutton Simon (Kratos Analytical Ltd, Wharfside, Trafford Wharf Road, Manchester, M17 1GP, UK) ,  Glaszczka Rafal (Shim-Pol, ul. Lubomirskiego 5, 05-080 Izabelin, Poland) ,  Blomfield Christopher (Kratos Analytical Ltd, Wharfside, Trafford Wharf Road, Manchester, M17 1GP, UK)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 411  ページ： 386-393  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単一分子中の単一原子を識別することができる方法の開発は多くの分野で重要である。ここで報告した結果は,角度分解X線光電子分光法(ARXPS)のためのサブナノメートル分解能を実証した。これは最大エントロピー法(MEM)モデル,X線光電子分光法(XPS)実験結果と密度補正電子放出因子を利用したの導入により可能になった。本論文では,実験ARXPS結果の比較に,無機および有機薄膜試料の再構成を報告した。実験データと計算した点の間の予想外の偏差は,研究した厚さ方向の計算,例えば排出係数,散乱強度と原子密度に使用される定数と標準の不正確さに起因するとして説明した。鉄,窒素とフッ素原子の位置を研究した自己集合単分子層の分子で測定した。は0.2nmの分解能で分光学的データの再構成が可能であることが示されている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： フッ素 ,  *分解能 ,  X線光電子スペクトル ,  X線光電子分光法 ,  再構成 ,  *深さプロフィル ,  鉄 ,  最大エントロピー法 ,  窒素 ,  電子放出
準シソーラス用語： 原子密度 ,  散乱強度 ,  排出係数 ,  有機薄膜 ,  単一原子 ,  単一分子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： XPS ,  ARXPS ,  最大エントロピー法 ,  サブナノメータ分解能 ,  ナノ膜

分類 (3件)： 物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P) ,  半導体の表面構造  (BK15030A) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  ナノメータ ,  分解能 ,  XPS ,  深さプロファイリング ,  原子