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J-GLOBAL ID：201702290668549183   整理番号：17A0153026

ハードウエア故障シミュレーション機能を有するソフトウエアテスト支援システムの開発

著者 (3件)： 森田一弘 ((株)日立ハイテクノロジーズ) ,  佐藤恵弥 ((株)日立ハイテクノロジーズ) ,  涌井伸二 (東京農工大学大学院工学研究院)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 83  号： 1  ページ： 101-107(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体デバイスの検査工程におけるCD-SEMの組込みソフトウェア開発を加速するため,CD-SEMシステムにハードウェア交渉を確率的に発生する故障シミュレータを組込み型の非実機テスト支援システムを提案し,ソフトウェア評価を行い,テストカバレージとソフトウェア品質を向上し,開発時間短縮を実現できることを示した。

シソーラス用語： *半導体集積回路 ,  半導体素子 ,  *システム ,  走査電子顕微鏡 ,  *ソフトウェア開発 ,  縮小 ,  計算機利用システム ,  *ハードウェア障害 ,  *シミュレータ ,  プログラム検証 ,  品質 ,  効率
準シソーラス用語： CD-SEM ,  ソフトウェア品質 ,  *検査システム ,  支援システム ,  時間短縮 ,  開発効率

著者キーワード (10件)： concurrent development ,  embedded system ,  software development ,  simulator ,  non-actual machine testing ,  concurrent development ,  embedded system ,  software development ,  simulator ,  non-actual machine testing

分類 (3件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  計算機システム開発  (JD02010R)

引用文献 (15件)：

• 1) 清家善之, 大坪正徳, 島井太, 丸山健治, 山本浩之, 小林義典, 宮地計二, 土肥俊郎, 黒河周平, 大西修:三次元スタック構造の半導体デバイスにおけるコンフォーマル成膜技術に関する研究(第1報, 回転霧化エアロゾルスプレーによるTSVの成膜方法の提案とその装置化), 精密工学会誌, 78, 11 (2012), 965.
• 2) 森田一弘, 涌井伸二:真空環境における高精度温度計測と制御に関する研究, 精密工学会誌, 82, 3 (2016), 226.
• 3) 長谷川文夫, 志田倫教, 袖子田志保, 高濱雄一:シミュレーション技術を応用したシステム開発, IHI技報, 51, 2 (2011), 25.
• 4) 夏目明典, 青井文男, 横浜浩二, 筒井健司, 上藤陽一, 中本正彦:信頼性の高い製品を支える制御ソフトウエア検証技術, 三菱重工技報, 43, 2 (2006), 20.
• 5) 森山裕, 深澤健, 前川正博, 北村章:VirtualCRAMAS(SILS)へのISSレス技術の適用, 富士通テン技報, 26, 2 (2008), 7-15.

タイトルに関連する用語 (6件)： ハードウエア ,  故障シミュレーション ,  ソフトウエア ,  テスト ,  支援システム ,  開発