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J-GLOBAL ID：201702290816096195   整理番号：17A0400427

熱原子層堆積により成長させたAl_2O_3 Y_2O_3誘電体ナノ積層膜の光学的性質に及ぼす二分子層厚さの影響【Powered by NICT】

Influence of the bilayer thickness on the optical properties of Al₂O₃-Y₂O₃ dielectric nanolaminate films grown by thermal atomic layer deposition

著者 (8件)： Lopez J. (Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico) ,  Lopez J. (CONACyT, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Sotelo A. (Universidad Autonoma de Baja California, Km. 103 Carretera Tijuana-Ensenada, Ensenada, Baja California C.P. 22860, Mexico) ,  Castillon F.F. (Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico) ,  Machorro R. (Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico) ,  Nedev N. (Universidad Autonoma de Baja California, Instituto de Ingenieria, Blvd. Benito Juarez s/n, C.P. 21280 Mexicali, B.C., Mexico) ,  Farias M.H. (Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico) ,  Tiznado H. (Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Apdo. Postal 14, C.P. 22800 Ensenada, BC., Mexico)
資料名： Materials Research Bulletin  (Materials Research Bulletin)
巻： 87  ページ： 14-19  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0954A  ISSN： 0025-5408  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Al_2O_3 Y_2O_3二分子層のナノ積層膜の光学的性質の研究に焦点を当てた。ナノラミネートを熱原子層堆積(A LD)により成長させた。多層厚さ,屈折率および光学バンドギャップは分光偏光解析法により研究した。二層厚さが4と10nmの間で変化するとき,偏光解析データは,波長190nmで1.9~2.2の屈折率の増加を明らかにした。これらの結果は,屈折率が,そのナノ積層体厚さを変えることによって調整できることを示した。Wemple及びDiDomenicoモデルによって得られた,光学的バンドギャップ値は二分子層の厚さ減少は光学バンドギャップ(ΔE_g=0.8eV)だけでなく,二重層の厚さの関数としてE_g変調の増加をもたらすことを示した。光学的性質は,この材料がナノスケール光電子デバイスのための適切な光学多層被覆を設計するために利用できることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光学ギャップ ,  波長 ,  *多層膜 ,  バンドギャップ ,  多層 ,  *光学的性質 ,  屈折率 ,  偏光解析法 ,  *二分子層 ,  ナノスケール ,  二重層 ,  二層 ,  ナノラミネート
準シソーラス用語： 光電子デバイス ,  分光偏光解析法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  Multilayers ,  Nanostructures ,  光学材料 ,  光学的性質

分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  塩  (CD01050V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 原子層堆積 ,  成長 ,  誘電体 ,  積層膜 ,  光学的性質 ,  二分子層 ,  厚さ