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J-GLOBAL ID:201702291732933143   整理番号:17A1345187

平均熱伝導率を用いたオンウエハSiGeH BTの熱抵抗の正確なモデル化【Powered by NICT】

Accurate Modeling of Thermal Resistance for On-Wafer SiGe HBTs Using Average Thermal Conductivity
著者 (6件):
資料名:
巻: 64  号:ページ: 3955-3960  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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バックエンドオブライン(BEOL)金属層を含むシリコン-ゲルマニウムヘテロ接合バイポーラトランジスタ(SiGe HBTs)の接合温度と熱抵抗を推定するための提案した正確な解析モデル。熱抵抗の温度依存性を含めるために,モデルは,熱伝導率の平均値を用いた。モデルで使用される熱伝導率とBEOL熱抵抗に対応するパラメータは最近報告された方法論に従って抽出した。提案したモデルは本質的にスケーラブルであり,実験データによる検証は,STMicroelectronics B9MW技術で製作したSiGeH BTの異なるエミッタ形状にわたって優れた精度を示した。コンパクトモデルシミュレーションは,提案したモデルが既存の最先端反復法と比較して約23%迅速にシミュレートする。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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トランジスタ 
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