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J-GLOBAL ID：201702294950870715   整理番号：17A0381651

双方向熱膨張流に基づく微細加工した3軸ガス慣性センサ【Powered by NICT】

A micromachined three-axis gas inertial sensor based on bidirectional thermal expansion flow

著者 (4件)： Nie Bin (MOE Key Laboratory of Micro and Nano System for Aerospace, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Wang Weimin (MOE Key Laboratory of Micro and Nano System for Aerospace, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Ye Fang (MOE Key Laboratory of Micro and Nano System for Aerospace, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Chang Honglong (MOE Key Laboratory of Micro and Nano System for Aerospace, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1091-1094  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 双方向熱膨張流に基づく新規な微細加工三軸ガス慣性センサを報告した。八加熱器と八つのサーミスタが各サーミスタの魔法瓶抵抗センシングのための双方向熱膨張流を生成するために「十字形」ネットワークを形成した。,Z軸角速度とXY軸加速度は[ 1g,1g]の範囲内で[ 3240°/s,°/s],2.183V/gと1.916V/gの範囲内で1.370mV/°/sの感度で同時に検出できた。X/Y加速度測定間の結合は,それぞれ0.678%と2.924%に減少した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 角速度 ,  *膨張流 ,  加熱器 ,  加速度 ,  *微細加工 ,  サーミスタ ,  ネットワーク
準シソーラス用語： 加速度測定 ,  *慣性センサ ,  *三軸 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 熱電デバイス  (NC03090J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 双方向 ,  膨張流 ,  微細加工 ,  3軸 ,  慣性センサ