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J-GLOBAL ID：201702296051355848   整理番号：17A1309792

原子間力顕微鏡測定における開ループ圧電アクチュエータの非線形性アーチファクトの最小化

Minimizing open-loop piezoactuator nonlinearity artifacts in atomic force microscope measurements

著者 (2件)： Yen Chi-Fu (Department of Electrical and Computer Engineering, Iowa State University, Ames, Iowa 50011) ,  Sivasankar Sanjeevi (Department of Physics and Astronomy, Department of Electrical and Computer Engineering, Iowa State University, Ames, Iowa 50011)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 5  ページ： 053201-053201-4  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)は,ピコニュートンの力感度での分子相互作用を研究するために広く使用されている。AFMでは,レーザ光をカンチレバーから位置有感検出器上に反射し,カンチレバーたわみをモニターすることにより相互作用力を測定する。相互作用力の正確な測定は,光てこ感度,すなわち,カンチレバーたわみと検出器電圧の変化との関係を正確に決定することに掛かっている。圧電アクチュエータを用いて硬い基板に対しカンチレバーを押しつけ,検出器電圧の変化を記録することにより光てこ感度を測定した。しかし,一般的に使用される開ループ圧電アクチュエータの運動における非線形性は,光てこ感度の測定に大きな誤差をもたらす。ここでは,光てこ感度における誤差に及ぼす圧電アクチュエータのヒステリシスとクリープの効果を系統的に特性評価し,これらの誤差を最小化する測定条件を明らかにした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *アクチュエータ ,  アーチファクト ,  *片持梁 ,  *非線形性 ,  梃子 ,  *ヒステリシス ,  特性
準シソーラス用語： *圧電アクチュエータ ,  アーチファクト低減 ,  光梃子 ,  クリープ特性

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 原子間力顕微鏡 ,  開ループ ,  圧電アクチュエータ ,  非線形性 ,  アーチファクト ,  最小化