Kikuchi Yusuke について
Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan について
Ogura Masataka について
Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan について
Otsubo Akira について
Kurita Seisakusho Co. Ltd., Ujitawara-cho Yuyatani, Tsuduki-gun, Kyoto 610-0221, Japan について
Nishimura Yoshimi について
Kurita Seisakusho Co. Ltd., Ujitawara-cho Yuyatani, Tsuduki-gun, Kyoto 610-0221, Japan について
Nagata Masayoshi について
Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan について
Yatsuzuka Mitsuyasu について
Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan について
Vacuum について
パルス について
プラズマCVD について
ヘリウム について
硬度 について
窒素 について
プラズマ について
グロー放電 について
電界強度 について
混合気体 について
堆積速度 について
電場 について
発光分光法 について
イオンエネルギー について
放電プラズマ について
グロー放電プラズマ について
準大気圧圧力プラズマ について
高電圧パルス について
パルスグロー放電 について
ダイヤモンド状炭素膜 について
気体放電 について
調製 について
大気圧グロー放電 について
プラズマ について