特許
J-GLOBAL ID:201703000154371743
検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
村上 智司
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-030766
公開番号(公開出願番号):特開2014-160016
特許番号:特許第6067407号
出願日: 2013年02月20日
公開日(公表日): 2014年09月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】 設定された搬送方向に被検査物を搬送し、該被検査物の少なくとも前記搬送方向前端面又は後端面を被検査面として検査する検査装置であって、
前記搬送方向に沿った搬送路を有し、該搬送路上の前記被検査物を前記搬送方向に搬送する搬送機構と、前記搬送路を境として前記被検査物と同じ側に配設され、前記搬送路上の予め設定された検査位置において、前記搬送機構によって搬送される前記被検査物の前記被検査面を照明する第1の照明機構と、同じく前記被検査物と同じ側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の前記被検査面を撮像する撮像カメラとを少なくとも備えた検査装置において、
前記第1の照明機構は、前記被検査物の被検査面を照明する複数の発光器と、該複数の発光器を支持する支持体とを備え、
前記支持体は、少なくとも、前記搬送路に最も近い発光器を、他の一群の発光器よりも前記検査位置から離隔した位置で支持するように構成されるとともに、前記離隔した発光器と他の一群の発光器との間に、前記検査位置とは反対側の背面から前記被検査物の被検査面を観察できる空間を備え、
前記撮像カメラは、前記支持体の前記背面側に配設され、前記支持体の空間を通して前記被検査物の被検査面を撮像するように構成されていることを特徴とする検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/85 ( 200 6.01)
, G01N 21/84 ( 200 6.01)
, G01B 11/24 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01N 21/85 Z
, G01N 21/84 E
, G01B 11/24 A
引用特許:
出願人引用 (9件)
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外観検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-095778
出願人:TDK株式会社
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外観検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-079490
出願人:TDK株式会社
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特開昭63-034523
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