特許
J-GLOBAL ID：201703000462695860
ダイシング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-065417
公開番号（公開出願番号）：特開2017-183385
出願日： 2016年03月29日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：
【課題】ブレードを交換もしくは再利用する際にブレード情報の入力作業に要する手間や時間を削減し、全体のスループットの低下を防止することができるダイシング装置を提供する。【解決手段】ワークとブレード12とを相対的に移動させながらワークをブレード12によって切削加工する加工部と、ブレード12に備えられたRFIDタグ52にブレード情報を読み書きするリーダライタ54と、リーダライタ54によって読み取られたブレード情報に基づいて加工部を制御するとともに、加工部による切削加工に伴って作成もしくは更新されたブレード情報をリーダライタ54を介してRFIDタグ52に書き込む制御部26とを備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ワークとブレードとを相対的に移動させながら前記ワークを前記ブレードによって切削加工する加工部と、
前記ブレードに備えられたRFIDタグにブレード情報を読み書き可能なリードライト手段と、
前記リードライト手段によって読み取られた前記ブレード情報に基づいて前記加工部を制御するとともに、前記加工部による切削加工に伴って作成もしくは更新された前記ブレード情報を前記リードライト手段を介して前記RFIDタグに書き込む制御手段と、
を備えるダイシング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/78 F
, B24B27/06 M
3C158AA03
, 3C158AA15
, 3C158AA18
, 3C158AC02
, 3C158BA02
, 3C158BA09
, 3C158BC02
, 3C158CB04
, 3C158DA17
, 5F063AA29
, 5F063DD02
, 5F063DD06
