特許
J-GLOBAL ID:201703000603004360
粉末供給部から粉末を搬送するための装置および方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人磯野国際特許商標事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-504229
特許番号:特許第6181041号
出願日: 2012年03月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】 粉末(1)を格納する容器(2)と、
前記容器(2)中の粉末(1)によって画定される表面(18)と、
前記粉末の前記表面と接して、または、離れて設けられた吸引手段(6)と、
前記表面(18)から前記粉末(1)を吸引するために前記吸引手段(6)によって画定された吸引開口(7)と、
前記表面(18)から粉末(1)を吸引する間に、前記吸引開口(7)と前記粉末(1)の前記表面(18)との間に相対運動(8)を発生させる運動手段(44)であって、所定の質量流量(dM/dt)を維持するように、前記相対運動(8)の速度(V)を変動し得る運動手段(44)と、
前記容器(2)を計測するための秤(42)であって、前記相対運動(8)の前記速度(V)に基づいて、前記粉末(1)の前記表面(18)から基板(36)の表面(35)へ向かう前記粉末(1)の所定の質量流量(dM/dt)を維持できるように前記運動手段(44)を制御するための測定および制御電子装置(43)に接続された秤(42)と、
を備えることを特徴とする、粉末搬送装置。
IPC (5件):
B65G 65/36 ( 200 6.01)
, B65G 53/42 ( 200 6.01)
, B65G 53/24 ( 200 6.01)
, C23C 4/12 ( 201 6.01)
, B05C 19/06 ( 200 6.01)
FI (5件):
B65G 65/36
, B65G 53/42
, B65G 53/24
, C23C 4/12
, B05C 19/06
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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特開昭52-074901
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特開昭52-074901
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エアロゾル発生装置、および成膜装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-151559
出願人:ブラザー工業株式会社
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