特許
J-GLOBAL ID：201703000965263207
表面粗さ評価装置及び表面粗さ評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人SSINPAT
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-216081
公開番号（公開出願番号）：特開2017-090453
出願日： 2016年11月04日
公開日（公表日）： 2017年05月25日
要約：
【課題】2次元計測により得られたデータに基づき、迅速に被測定物体表面の3次元形状を予測・評価することが可能な表面粗さ評価装置及び表面粗さ評価方法を提供する。【解決手段】2次元計測可能な変位計により得られた粗さ曲線データに基づき、粗さ曲線データのピーク高さHと、その裾野幅2Rとを順次求め、複数のピーク高さHと、その裾野幅2RとからH/R比の平均値を算出し、得られたピーク高さのヒストグラムを近似して得られた2次元確率密度関数2fh(2hpeak)と、H/R比の平均値とに基づき、3次元確率密度関数3fh(3hpeak)を導出するように構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被測定物体表面の粗さを評価する表面粗さ評価装置であって、
前記被測定物体表面を2次元的に測定可能な変位計と、
前記変位計により得られた前記被測定物体表面の粗さ曲線データに基づき被測定物体表面の3次元形状を算出する演算手段と、を備え、
前記演算手段は、
前記粗さ曲線データのピーク高さHと、その裾野幅2Rとを順次求め、
複数のピーク高さHと、その裾野幅2RとからH/R比の平均値を算出し、
得られたピーク高さのヒストグラムを近似して得られた2次元確率密度関数2fh(2hpeak)と、前記H/R比の平均値とに基づき、3次元確率密度関数3fh(3hpeak)を導出するように構成されていることを特徴とする表面粗さ評価装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2F065AA50
, 2F065BB01
, 2F065FF09
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ21
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ42
, 2F065QQ43
, 2F065UU05
