成膜方法、成膜装置、光電極の製造方法および色素増感太陽電池の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：佐伯義文 , 森隆一郎 , 大槻真紀子 , 豊山おぎ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-165535
公開番号（公開出願番号）：特開2015-034322
特許番号：特許第6122730号
出願日： 2013年08月08日
公開日（公表日）： 2015年02月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】無機粒子及びNOxガス若しくはSOxガスを含むエアロゾルを被処理基材に吹き付けることにより、前記被処理基材上に前記無機粒子からなる多孔質膜を成膜することを特徴とする成膜方法。

IPC (2件)：