検査装置、検査方法および検査プログラム

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-124839
公開番号（公開出願番号）：特開2015-001404
特許番号：特許第6115338号
出願日： 2013年06月13日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の端子を基体に接合した画像から、それぞれが端子を含む複数のパターンを抽出し、前記複数のパターンを画素膨張処理し、前記複数のパターンのうち連結されたパターンを判定パターンとする画像処理ユニットと、前記判定パターンごとに、前記判定パターンに含まれる端子の高さを測定する測定ユニットと、前記判定パターンごとに、前記測定された高さに基づき接合の良否を判定する判定ユニットと、を具備することを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：