荷電粒子ビーム装置内でコマおよび色収差を低減させる方法ならびに荷電粒子ビーム装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：西島孝喜 , 弟子丸健 , 田中伸一郎 , 大塚文昭 , 須田洋之 , 上杉浩 , 近藤直樹 , 鈴木信彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-139069
公開番号（公開出願番号）：特開2017-022115
出願日： 2016年07月14日
公開日（公表日）： 2017年01月26日
要約：

【課題】荷電粒子ビームのビームチルトを提供する荷電粒子ビーム装置内でコマおよび色収差を低減させる方法を提供する。【解決手段】2つ以上の静電偏向素子330、340からなる偏向アセンブリで荷電粒子ビーム320を傾斜させることであって、2つ以上の静電偏向素子330、340のうちの少なくとも1つの偏向素子がレンズ後偏向器340であり、荷電粒子ビーム320が、対物レンズ370の本質的にコマのないz位置372を通って案内するように傾斜させることと、磁気偏向素子360で軸外色収差を低減させることとを含み、荷電粒子ビーム320を傾斜させることで、軸外色収差とは独立してコマを低減させる。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームのビームチルトを提供する荷電粒子ビーム装置内でコマおよび色収差を低減させる方法であって、 2つ以上の静電偏向素子からなる偏向アセンブリで前記荷電粒子ビームを傾斜させることであって、前記2つ以上の偏向素子のうちの少なくとも1つの偏向素子がレンズ後偏向器であり、前記荷電粒子ビームが、対物レンズの本質的にコマのないz位置を通って案内される、傾斜させることと、磁気偏向素子で軸外色収差を低減させることとを含み、前記荷電粒子ビームを傾斜させることで、軸外色収差とは独立してコマを低減させる、方法。

IPC (6件)：

H01J 37/10 , H01J 37/30 , H01J 37/12 , H01J 37/14 , H01J 37/153 , H01L 21/66

FI (7件)：

H01J37/10 , H01J37/30 A , H01J37/12 , H01J37/14 , H01J37/153 A , H01J37/153 B , H01L21/66 J

Fターム (10件)：

4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB14 , 5C033CC02 , 5C033CC06 , 5C033HH06 , 5C033HH08 , 5C033JJ07 , 5C034AB05

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭56-061603
荷電粒子ビームカラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-115480 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
粒子光学鏡筒用の鏡筒内検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-100249 出願人：エフイーアイカンパニ

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